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本文標(biāo)題:電子顯微鏡的.電磁透鏡的像差與消除

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-5-3 13:04:04

電子顯微鏡的.電磁透鏡的像差與消除

電磁透鏡的像差與消除是指電磁透鏡中的像差類似于光鏡中的像差

，其產(chǎn)生原理一樣，故描述當(dāng)中常常沿用光線一詞來喻作電子線束

。電鏡的像差也可以分成幾類，只是所采用的相應(yīng)消除措施與光鏡

各不相同。

球差由于成像的遠(yuǎn)軸光線與近軸光線的光路不同，致使遠(yuǎn)軸光

線與近軸光線在光程上產(chǎn)生了差異，造成所形成影像的焦點(diǎn)位置出

現(xiàn)了前后不同，這一原因所引起的像差稱為球面像差，又稱球差。

當(dāng)入射光與光軸發(fā)生傾斜時(shí)也會加大透鏡的球差。所以電磁透鏡和

光學(xué)透鏡一樣也常常加有透鏡光闌，選用較小的孔徑角，用以遮擋

遠(yuǎn)軸光線，著重利用近軸光線成像，從而降低球差帶來的影響。

此外加裝電子槍和電子束的傾斜校正線圈，也可以有助于消除或減

少球差.

衍射像差光線遇到小孔或小障礙物時(shí)會產(chǎn)生繞向前進(jìn)，這種衍射

效應(yīng)所導(dǎo)致的像差稱為衍射像差。